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Détermination de la mesure des dopants par SIMS et SRP

Les variations dans la conduction des dopants peuvent affecter le fonctionnement d'un dispositif microélectronique. La détermination du profil de dopage, proposée par SGS, vous donnera toutes les informations dont vous avez besoin pour être certain que votre produit possède la concentration correcte de dopants pour fonctionner.

Dans le domaine des semi-conducteurs, un dopant est une impureté ajoutée en petites quantités dans un substrat ou une couche pour déterminer ses propriétés de conductivité. Le dopage est l'un des principaux processus de l'industrie des semi-conducteurs. Parce que de légères variations dans la conduction des dopants peuvent considérablement affecter le fonctionnement d'un dispositif microélectronique, il est essentiel de s'assurer que la quantité correcte a été utilisée dans la distribution des espèces dopantes, durant le processus de production.

La détermination du profil de dopage proposée par SGS vous donnera toutes les informations dont vous avez besoin pour être certain que votre produit possède la concentration de dopants correcte et qu'il fonctionne comme il se doit.

SGS – un prestataire de services de confiance

Notre institut à Dresde (Allemagne) est l'un des plus anciens laboratoires en activité dans le domaine de la microélectronique. Nos laboratoires sont reconnus pour leurs prestations de services haut de gamme. Nous réalisons :

  • La détermination de profils en profondeur des dopants et des contaminants par spectrométrie de masse à ionisation secondaire (SIMS dynamique classique et ToF-SIMS). 
  • Nous mesurons aussi les dopants électriquement actifs en utilisant :
    • L'analyse de résistance de diffusion (SRP)
    • Des techniques de sonde à balayage pour un profilage 2D

Les technologies SIMS et SRP sont très sensibles et fournissent une gamme dynamique élevée. Elles se complètent aussi parfaitement.

Contactez SGS dès maintenant pour savoir comment notre service de détermination du profil de dopage peut aider votre entreprise.

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  • SGS France – Consumer and Retail

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