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Spurenanalyse – SIMS, ToFSIMS und ICPMS

Mit der Spurenanalyse können wir Unreinheiten in sehr geringen Konzentrationen innerhalb des Qualitätskontrollverfahrens feststellen. Dies ist wichtig bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, da Spurenmengen an Kontamination die Leistung reduzieren oder sogar zum Ausfall führen können.

Die Spurenanalyse von SGS bietet einen verlässlichen Spezialservice als grundlegenden Teil Ihrer Qualitätskontrolle. Unsere erfahrenen Mitarbeiter setzen leistungsstarke Geräte zur Erkennung von Spurenunreinheiten ein, um Störungen oder Unzuverlässigkeiten innerhalb des Produkts zu minimieren. Wir führen hochsensible Prüfverfahren durch unter Anwendung von:

  • Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie (SIMS) – ermittelt die Unreinheiten in sehr geringen Konzentrationen 
  • Flugzeit-Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie (TOF-SIMS) – erkennt Oberflächenunreinheiten
  • Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS); unterstützt durch Gasphasenzersetzung (VPD) oder Pack Extraction Method (PEM) – hochempfindlich auf ein breites Elementenspektrum

Wenden Sie sich an SGS, um herauszufinden, wie unsere Spurenanalyse die Qualität und Zuverlässigkeit Ihrer Produkte erhöhen kann.

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  • SGS Austria Controll-Co. Ges.m.b.H.

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Wien, Österreich